序號(hào) |
系統(tǒng)組成 |
主要明細(xì) |
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1 |
真空部分 |
真空腔材質(zhì) |
316L不銹鋼 |
真空腔內(nèi)部尺寸 |
250*220*200mm（寬*深*高） |
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真空腔容積 |
10L |
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極板 |
3層，水平式，活動(dòng)可調(diào)節(jié) |
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物料托盤(pán) |
2層，有效尺寸：190×120mm |
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真空計(jì) |
日本愛(ài)發(fā)科 |
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真空泵 |
德國(guó)愛(ài)德華 |
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質(zhì)量流量計(jì) |
七星華創(chuàng) |
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氣路控制 |
2路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào) |
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真空管路組件 |
全不銹鋼管路+波紋管 |
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工作真空度 |
5pa-30pa |
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2 |
放電系統(tǒng) |
等離子發(fā)生器 |
頻率：13.56MHZ;功率600W可調(diào) |
3 |
電控系統(tǒng) |
人機(jī)工控系統(tǒng) |
自動(dòng)+手動(dòng)觸控式全中文界面 |
PLC+觸摸屏 |
德國(guó)西門(mén)子+MCGS |
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開(kāi)關(guān)電源 |
臺(tái)灣明偉 |
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軟件程序 |
自主專利設(shè)計(jì)等離子控制系統(tǒng)，三級(jí)權(quán)限設(shè)置自動(dòng)、手動(dòng)模式，配方參數(shù)設(shè)定、存儲(chǔ)、調(diào)用，報(bào)警歷史查詢，IO監(jiān)控 |
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變頻控制系統(tǒng) |
根據(jù)實(shí)際情況自動(dòng)調(diào)節(jié)真空泵抽速，實(shí)時(shí)確保真空度穩(wěn)定 |
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報(bào)警功能 |
真空度、輝光、功率、氣壓等實(shí)時(shí)監(jiān)控報(bào)警 |
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報(bào)警方式 |
三色燈蜂鳴器報(bào)警+顯示屏提示 |
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4 |
進(jìn)氣系統(tǒng) |
氣體控制系統(tǒng) |
MFC兩路精準(zhǔn)控制（七星華創(chuàng)） |
氣壓控制系統(tǒng) |
日本SMC電磁閥 |
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氣壓監(jiān)測(cè)系統(tǒng) |
日本SMC減壓閥、壓力報(bào)警表 |
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進(jìn)氣管路組件 |
Φ8mm軟管+不銹鋼套管路 |
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5 |
泄壓系統(tǒng) |
破真空組件 |
擋板閥+節(jié)流閥+消音器 |
6 |
整機(jī)參數(shù) |
外形尺寸(MM) |
550(寬）*650(深）*1450(高） |
重 量 |
200KG |
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